RCO催化燃烧设备方法的工艺组成：不同的排放时间和不同的废气有不同的工艺流程。但是，无论采用何种工艺流程，都由以下工艺单元组成：
(1)废气的预处理：为了避免催化剂床的堵塞和催化剂中毒的堵塞，需要在进入床前预处理废气，以去除废气中的灰尘、液体水滴和催化剂毒液。
(2)预热装置:预热装置包括尾气预热装置和RCO催化燃烧设备预热装置。
工业废气处理技术的RCO催化燃烧设备方法。
催化剂对RCO催化燃烧设备方法有催化剂活性温度，称为催化剂光灭温度，在进行催化剂燃烧之前，废气的温度需要达到光灭温度，因此需要设置预热装置。但是，如果废气本身的温度相对较高，例如温度可以达到300℃以上的漆包线、绝缘材料、烘焙清漆等，则不需要安装预热装置。
预热装置加热的热气可以在床层采用换热器及管道排列的方式。
烟气或电加热可作为预热器的热源，目前使用更多的电加热。催化反应开始后，废物气体需要尽可能预热到反应温度。
反应热大的话，为了节约能源，应该安装余热回收装置。
一般预热的废气的热源温度超过催化剂的活性温度。
为了保护催化剂，加热装置需要与RCO催化燃烧设备保持一定距离，这还可以产生废气均匀的温度分布。
从预热的需要开始，催化剂燃烧方法最适合持续地排气净化。如果尾气是间歇性的，则每次预热不仅需要能源消耗，而且不能回收反应热，因此能源浪费很大。这一点要注意设计和选择。
(3)RCO催化燃烧设备：固定床催化反应器通常用于工业废气处理。核反应堆应按照规范设计，方便催化剂的操作、维护及装卸。
在催化燃烧工艺设计中，重明环境保护应在具备一定条件和大规模气体处理能力的情况下，即独立安装预热器及反应器，并设计管道相互连接的零部件施工工艺。对于治理能力小的情况，可以用催化剂焚烧炉预加热和反应相结合。但要支付注意预热部分和反应部分之间的距离。
有机废气催化燃烧处理的有机废气，在高温下与空气混合容易爆炸，因此安全问题非常重要。

因此，一方面，需要控制有机物和空气的混合比例，使其处于更低的爆炸极限；另一方面，RCO催化燃烧设备应配备监测和报警装置及防爆措施。